超純水處理設備：既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。這就需要用到水處理技術。

　　早期超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點是化學藥劑再生，既麻煩又不經濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業法杖，對超純水質量要求提高，從而大大的推動了純水技術的發展，到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的應用，微濾，超濾，電滲析和反滲透技術先進的水處理技術得到了飛速的發展，膜法制備純水取代了傳統的離子交換器系統，解決了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要求。

　　傳統超純水處理設備工藝流程:原水—多介質過濾器—活性炭過濾器—一級除鹽—混床—超純水

　　膜法超純水處理設備工藝流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水

　　在膜法工藝中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現反滲透裝置對污水回用的安全，高效運行，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進一步除去有機物，膠體，細菌等雜質，可以保證反滲透出水滿足EDI進水的要求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸堿對樹脂再生，避免了二次污染。